Расчет геометрических размеров тонкопленочных резисторов, выполненных методом  свободной  маски  (МСМ)

 

1. Исходные данные:

                а). конструкторские: , где

                               Rн - номинальное сопротивление резистора;

                               gR - относительная погрешность номинального сопротивления;

                               Pн - номинальная мощность;

                               T°max C - максимальная рабочая температура МС;

                               tэкспл - время эксплуатации МС.

                б). технологические:  , где

                               Db(Dl) - абсолютная погрешность изготовления;

                               Dlустан  - абсолютная погрешность совмещения трафарета;

                               - относительная погрешность удельного сопротивления.

2. Определяем диапазон , в котором можно вести расчет:

                0,02 Rmax <    < Rmin      Þ    900 <  < 500

                Видим, что неравенство не выполняется, значит все эти резисторы изготовить из одного материала невозможно. Чтобы мы все же могли изготовить резисторы, надо разбить их на две группы и для каждой группы выбрать свой материал.

 

Таблица 5.  Разбивка резисторов на группы

               

Первая группа	R1, R6, R7, R9, R10, R12, R13, R14, R16, R17, R18, R19  (500 - 4250 Ом)
Вторая группа	R2, R3, R4, R5, R8, R11, R15  (10 - 45 кОм)

               

Расчет резисторов первой группы.

 

1. Определяем диапазон  , в котором можно вести расчет:

                0,02 Rmax <  < Rmin     Þ    85 <  < 500

                Видим, что неравенство выполняется, следовательно эти резисторы выполняются из одного материала. Для того чтобы резисторы были как можно меньше выберем материал с как можно большим удельным поверхностным сопротивлением (). Остановим свой выбор на материале “МЛТ-3М”. Этот материал обладает следующими характеристиками:

 

Таблица 6.  Материал для первой группы резисторов

 

№	Наименование	, Ом/€	a R , 1/°C	P0 , мВт/мм2	S, %/103 час
1	Сплав МЛТ-3М sК0,028,005,ТУ	200 -500	0,0002	10	0,5

 

                Как уже говорилось,  лучше взять  как можно больше, т.е. в данном случае это =500. Этот материал обладает неплохими характеристиками, присущими резистивным материалам, а именно: низким ТКС (aR), низким коэффициентом нестабильности (старения) (S), хорошей адгезией и технологичностью.